[환경포커스=대구] 기후에너지환경부는 19일 경북 구미 소재 SK실트론 구미사업장에서 ‘고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 사업’ 성과물에 대한 기술이전 협약식을 개최한다고 밝혔다.

초순수(Ultra Pure Water)는 물속 불순물을 극미량 수준까지 제거한 물로, 반도체 표면의 오염물질을 세정하는 핵심 공정용수다. 반도체 웨이퍼 생산 과정에서는 극미량의 불순물조차 제품 불량으로 이어질 수 있어 초고순도의 물 관리 기술이 요구된다.

그동안 초순수 생산기술은 일본과 미국 등 해외 기업 중심으로 시장이 형성돼 왔다. 반도체, 디스플레이, 이차전지, 바이오 산업 전반에서 필수적으로 사용되지만, 최고 수준의 수처리 기술이 필요해 국내 기술 자립이 쉽지 않았던 분야다.

기후에너지환경부는 이러한 기술 의존도를 낮추기 위해 지난 2021년부터 초순수 생산기술 국산화 사업을 추진해 왔다. 이번 실증설비에는 설계·시공·운영 전 과정에 국내 기술이 적용됐다.

특히 유기물 제거를 위한 자외선 산화장치, 용존산소 제거용 탈기막, 이온 제거 및 수질 고도화를 위한 이온교환수지 등 핵심 공정에 국내 기업이 개발한 장비와 소재가 적용됐다. 장기간 운영 실적까지 확보하면서 실제 산업 현장 적용 가능성을 확인했다는 평가다.

이번 기술이전으로 생산된 초순수는 SK실트론 구미사업장의 반도체용 웨이퍼 생산공정에 공급될 예정이다. 국내 설계 기술로 생산된 초순수가 실제 반도체 제조공정에 공급되는 것은 이번이 처음이다.

정부는 이번 사례가 단순한 기술개발을 넘어 국내 물기업들의 현장 적용 실적 확보와 시장 진입 기반 마련이라는 점에서 의미가 크다고 설명했다. 동시에 해외 의존도가 높았던 초순수 분야 공급망 안정성 확보에도 도움이 될 것으로 기대하고 있다.

초순수는 반도체 산업의 ‘보이지 않는 핵심 인프라’로 불린다. 첨단 반도체 생산라인에서는 웨이퍼 세척 과정마다 대량의 초순수가 사용되며, 수질 안정성과 공급 안정성이 생산 경쟁력과 직결된다. 최근 글로벌 공급망 재편과 첨단산업 경쟁 심화 속에서 초순수 국산화가 중요한 전략 과제로 떠오르는 이유다.

기후에너지환경부는 앞으로 초순수 생산 전 공정 국산화와 함께 하수 재이용 기반 초순수 생산기술 개발도 추진할 계획이다. 기후위기로 인한 공업용수 부족 가능성에 대응하고 안정적인 산업용수 공급체계를 구축하겠다는 구상이다.

김지영 기후에너지환경부 물이용정책관은 “이번 기술이전은 초순수 기술의 국산화를 넘어 실제 산업현장 적용으로 이어진 중요한 성과”라며 “반도체 등 첨단산업의 대규모 투자가 초순수 등 국내 물산업 발전으로 이어질 것”이라고 밝혔다.

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